Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
A previous study on long term reproducibility [1] demonstrated that CAMECA Wf can delivered the relative standard deviation (RSD) of the relative sensitivity factors (RSF) of boron (B) are typically 3.7%. Above results show that deviation can be estimated without testing the standards. This paper will demonstrate that the SIMS RSD depend significantly on the species concentration.
A surface layer formation by Cs+ bombardment was observed during ultra-thin oxynitride gate dielectrics depth profiling. A significant thickness change relative to ultra-thin layer of oxynitride was noticed when testing a bombarded sample after a period of time. Cs, O and N depth profiles were examined by Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry (DSIMS). The bombarded sample and new sample were investigated...
A case study on isotope antimony for buried implant is presented in this paper. The electrical test was found to correlate to the total dopant dose instead of each isotope present at the wafer. Thus the SIMS qualification has to use sum of both isotopes 121Sb and 123Sb for dopant matching.
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.