Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper presents the development of a laser assisted polymer bonding process using benzocyclobutene (BCB) for encapsulation of MEMS and other microscale sensor devices. The polymer rings were fabricated on capping substrates using the photosensitive BCB resin and photolithography and then bonded onto device substrates to form microcavities for MEMS packaging. A high-power fibre-coupled diode laser...
This paper presents chip scale investigation of polymer based bonding processes for producing microcavities for encapsulation of MEMS and other microscale devices. The polymer sealing rings were fabricated on the glass covers using the photosensitive BCB polymer and photolithography. They were bonded onto a variety of substrates including silicon substrates, aluminum coated substrates and glass substrates...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.