Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper presents a new dual-resonator MEMS magnetic sensor utilizing the Lorentz force. Sensor operation is demonstrated using quadrature frequency modulated (QFM) readout, where the magnetic field strength is measured by monitoring the change in oscillation frequency. The Lorentz force sensor, comprising of a matched pair of differentially operated closed-loop resonators on the same silicon die,...
We present an epitaxially-encapsulated 2×2mm2 quad-mass resonator (QMR) with shaped comb fingers for frequency tuning. While shaped electrodes have been used for frequency tuning of linear resonators, the device studied here has very high quality factor (g=100,000) resulting in a very narrowband resonance which, without the shaped electrodes, results in undesirable nonlinear behavior such as amplitude-frequency...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.