Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Electron beam lithography (EBL) is a very promising candidate for integrated circuit (IC) fabrication beyond the 10 nm technology node. To address its throughput issue, the Character Projection (CP) technique has been proposed, and its stencil planning can be optimized with aware of overlapping characters. However, the top level 2D stencil planning problem has been proved to be an NP-hard problem...
Recently, block copolymer directed self-assembly (DSA) has demonstrated great advantages in patterning contacts/vias for the 7 nm technology node and beyond. The high throughput and low process cost of DSA makes it the most promising candidate in patterning tight pitched dense patterns for the next generation lithography. Since DSA is very sensitive to the shapes and distributions of the guiding templates,...
At the 10 nm technology node, the contact layers of integrated circuits (IC) designs are too dense to be printed by single exposure using 193 nm immersion (193i) lithography. Among all the emerging patterning approaches, block copolymer directed self-assembly (DSA) is a promising candidate with high throughput and low cost for sub-20 nm features. Traditionally, the study of DSA has focused on achieving...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.