Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In this work we present the design and fabrication of a test chip to be used for the characterization of the main electrical, mechanical and thermal properties of the structural materials involved in the development of polysilicon-based electrothermal actuators. With this combined bulk/surface micromachined chip, parameters such as Young's modulus (E), stretching or compression stresses (±σ), stress...
High-index silicon substrates are proposed as an alternative for the development of a new type of microsystems. Both bulk and surface micromachining techniques could be developed in combination with MOS circuits, offering new possibilities of applications, based on a combined intra- and post-processing approach without affecting the interface atomic texture of high-index substrates. As an example...
A novel conception of practical applications of non-equilibrium processes in illuminated metal-oxide-semiconductor capacitors is presented. It is shown that the time dependent variations of the displacement current in such capacitors, biased in strong inversion condition by a functional voltage generator, is the basis of the new transducers. Triangular or sawtooth voltage waveforms supplied by a generator...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.