Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper reports a capacitive accelerometer structure with highly symmetrical eight springs and a mass. The accelerometer structure is formed simply by multilayer oxidation and wet etching (MOWE) technique, avoiding the generally adopted deep-groove photolithography when fabricating the thin spring. TMAH+Triton is selected as the etchant because it not only provides the minimum undercutting at the...
This paper proposes a systematic error model for two type of structures of MEMS close-loop capacitive accelerometers, targeted to be used in micro inertial measurement unit (MIMU). The proposed model for the accelerometer's systematic errors includes common physical parameters used to rate an accelerometer: bias, scale factor, cross-axis sensitivity and misalignment. Dynamic analysis based on the...
The characteristics of force transferring in parallel capacitor is presented, the external force applied on one plate can be transferred to another with a reverse direction and changed magnitude by coupling effect of mechanical domain and electric domain. The main principle of such behaviors is analyzed, and the relation of input and output is calculated by analytic method, it is indicated that the...
The force-balanced micro accelerometer is selected to study the calibration in MEMS sensors. The fabrication and test of accelerometer are presented, the test data is calibrated by least squared method and genetic algorithm in cubic function, and the results are compared to study characteristics of calibration on different methods. The advantage of least squared method is the distribution of residual...
Dimension uncertainty inevitably occurs in almost every fabrication of microstructure because of its small size and ununiformity of material, therefore, the dimension error is a significant factor to be considered in MEMS structure design. The unsymmetrical gaps of capacitors induced by processing are selected to analyze the effects of error on the pull-in voltage of capacitive microaccelerometer...
Dimension uncertainty inevitably occurs in almost every fabrication of micro structure because of its small size and ununiformity of material, therefore, the dimension error is a significant factor to be considered in MEMS structure design. The unsymmetrical gaps of capacitors induced by processing are selected to analyze the effects of error on the performance of accelerometer including its sensitivity...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.