Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
A low oxygen content (LOC) CuAl alloy with no barrier metal (Ta) oxidation was obtained using an oxygen absorption process based on metallurgical thermodynamic principles. LOC CuAl dual damascene interconnects (DDIs) were successfully implemented into 45-nm-node LSIs with 140-nm-pitched lines and 70-nm-diameter (phi) vias. An oxygen absorber of very thin Al film, which was deposited on an electrochemically...
By a novel oxygen absorption process, low oxygen-content Cu-alloy is implemented for fully-scaled-down, 45 nm-node dual damascene interconnects (DDIs) with 140 nm-pitched lines and 70 nmOslash-vias. In this process, a very thin metal film as an oxygen absorber, which has larger negative change in the standard Gibbs free energy of oxidation than a barrier metal, is put on a natural oxide at a surface...
We used an optical beam induced resistance changes (OBIRCH) method to analyze defects in 0.10-/spl mu/m-wide Cu lines. Narrower lines and higher annealing temperatures strongly increased the defects probably due to Cu film agglomeration in very narrow line trenches. SiC capping of Cu lines reduced the numbers of defects drastically. Capping material is a key factor for 0.10-/spl mu/m-wide, Cu metallization.
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.