Microsystem Technologies > 2013 > 19 > 3 > 419-423
Source
Abstract
Identifiers
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-012-1648-0 |
Microsystem Technologies > 2013 > 19 > 3 > 419-423
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-012-1648-0 |