Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
ldquoSystem-in-Packagerdquo is a key concept to achieve minimum size and costs in hybrid integration. We investigated several related technologies for inertial sensor MEMS packaging, with special emphasis on vacuum packaging of resonant devices like gyroscopes: Hermetic Chip-to-Wafer and Wafer-to-Wafer bonding, Through-Silicon Via in thick and in thin wafers, thin-film getter deposition and fine patterning,...
Smart inertial sensor systems, e.g. gyroscope clusters, are basically formed by a MEMS device with micromachined structures and an ASIC with drive- and sense-circuits. Integration is moving towards a direct interconnect by chip stacking to form a chip-scale system in a package. As an alternative to a Wafer-to-Wafer bonding approach, a Chip-to-Wafer (C2W) assembly can reduce initial product launch...
We report coherent generation of tunable THz pulses via optical rectification of pulse trains consisting of femtosecond laser pulses. The synthesis of pulse trains is performed with zone plates made of thin glass slides to achieve both tunability and anarrower spectral bandwidth of the generated THz radiation. For the first time, tuning of the far infrared radiation has been experimentally demonstrated...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.