Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Traditional method of selecting SVID, setting up FDC models and SPC alarm rules often depends on past experiences and abnormal cases. It's hard to achieve the overall FDC coverage across different tool types. In this paper, we adopt EQ subsystems concept into FDC model template and roll out these models throughout the fab by using combine charts. It can rapidly improve FDC coverage rate and hit rate...
Unusually there was only in-line monitor to check the post maintenance quality in semiconductor fab, especial in frond-end process. As these are 1∼ 2 months time form frond-end tool to WAT/CP test. If the post maintenance monitor is OK, but something wrong at WAT/CP test, there will be huge loss. There are many methods to mention the post maintenance quality control by FDC metrology. But most of them...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.