Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
A rapid and manufacturable technique to bond silicon to steel for microelectromechanical system (MEMS) sensor applications is presented. Using an induction heating system, the process is simple, clean, inexpensive, and fast, with bonding occurring in 3–5 s. Heat generation is isolated to within several micrometers below the steel surface, allowing for a controllable thermal budget that does not damage...
Experimental measurements of the first-ever MEMS double ended tuning fork (DETF) resonant strain gauge, successfully bonded to steel by rapid inductive heating are presented in this paper. The localized strain-sensing results are compared with a finite element model. With a gauge length of just 200µm, the MEMS strain gauge enables higher spatial resolution and improved localized strain detection in...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.