Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Zirconium nitride thin films were synthesized by a microwave electron cyclotron resonance (MW-ECR) plasma enhanced unbalanced magnetron sputtering (PE-UMS) technique. The results of plasma diagnostics by an electrostatic probe indicate that the electron temperature decreases with increasing nitrogen flow rate. The substrate ion current initially increases as the nitrogen flow rate increases at a low...
In the presence of the external magnetic field, Monte Carlo method has been used to simulate a complete course, in which the ions pass through the neutral region, the sheath region and finally are absorbed by the workpiece surface with negative bias in Electron Cyclotron Resonance microwave plasma. The charge exchange and elastic scattering collisions between ions and neutrals are taken into account...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.