Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
The reliability of MEMS sensors or actuators such as accelerometers, gyroscopes, resonators, RF switches, microbolometers… is critically dependent on the vacuum level and on the nature of the gaseous species present inside the MEMS cavity (∼1mm3 or less, usually in the 10−2–10−3 mbar vacuum range after sealing by Wafer Level Packaging process. Although a lot of methods have been explored [1], the...
The small sizes of the MEMS or NEMS electromechanical resonators and their single wafer, multi frequencies possibilities has focused tremendous interest in the development of demonstrators using standard CMOS process. But sizes reduction induces output signal detection challenge. This paper deals with the dynamic characterization of NEMS. Heterodyne interferometric measurements are performed on beam...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.