Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
As design rules shrink, semiconductor manufacturing becomes more complex which leads to a huge increase in the defects which could cause a non-yielding die. Process control and inline defect analysis becomes widely relevant to help shorten the learning process from R&D to production. This paper discusses the various methodologies which leverage patterned wafer inspection tools to help analyze...
As dimension of middle-of-line contacts scale down, the Tungsten (W) gap-fill capability is critical, and we starts to see function failure in SRAM and logic circuit caused by W-voids. We had observed that formation of W-voids is related to the contact profile, nucleation/barrier on sidewall, and deposition methods. Furthermore, even those initially "good" W-plugs are formed, the subsequent...
We systematically analyzed that the "dark gate" defects were detected by bright field inspection and e-beam as one of the top yield limiters (i.e. the defects of gate-to-contact shorts/leakage) and correlated to physical failure modes in multiple steps through RMG and MOL process steps. A few effective/novel solutions in process steps are successfully demonstrated with planar CMOS technology,...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.