Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
We have succeeded in enhancing the piezoelectric property of lead zirconate titanate (PZT) thin films by employing “pulse poling” technique. We have fabricated MEMS-based microcantilevers using Pb(Zr0.52,Ti0.48)O3 (MPB-PZT) thin films. By applying 1 kHz and 100 V of unipolar triangle pulse voltage, the transverse piezoelectric constant −d31 of the PZT thin film has been enhanced as high as 105 pm/V,...
The present study describes the MEMS-based piezoelectric switch to activate the event-driven wireless sensor node for chicken health monitoring system. We have fabricated the switch composed of “S” shaped piezoelectric cantilever and proof mass, where the resonance is 24 Hz. When the switch has been vibrated at 4, 6, 8, and 12 Hz, which is close to the chicken movement frequency, the input vibration...
We have developed the digital output piezoelectric accelerometer using CMOS-compatible AlN thin films. The AlN thin films were deposited by sputtering. The multilayer of Pt/Ti/AlN/Pt/Ti/SiO2 has been fabricated into the piezoelectric accelerometers, where the patterned AlN thin films are arrayed in parallel and electrically connected in series. The sensitivity of the fabricated accelerometer reaches...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.