Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This study demonstrates the 2-axis epitaxial silicon scanner driven by the coil-less magnetostatic force using electroplated permanent magnet (CoNiMnP) film. The present approach has four merits: (1) the process employs the cheap silicon wafer with epitaxial layer; and the electrochemical etching stop technique is used to precisely control the thickness of scanner; (2) the I-section rib-reinforced...
This study demonstrates the torque-enhancement design for magnetostatic actuators driven by double-side electroplating ferromagnetic film. The present design has two merits: (1) the backside electroplating of the ferromagnetic film increases the magnetostatic torque, (2) the slender ferromagnetic material patterns with higher length-to-width ratio enhance the magnetostatic torque. The actuator is...
A simple 2-mask process to realize a two-axis micro scanning mirror is presented. The scanning mirror is made of single-crystal-silicon, and Ni is electroplated at the backside of scanner to induce the magnetostatic driving force.
This study presents two designs to enhance the magnetostatic torque to drive the scanner, (1) the lever arm, and (2) the ferromagnetic material pattern with higher length to width ratio.
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.