Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
SAW actuators are required for a micro actuator due to their high output force and direct drive. A new type IDT, Floating Electrode Unidirectional Transducer (FEUDT) is implemented by using MEMS technologies in the paper. The optimal designs were proposed and compared with others in the end. The dimensions of the FEUDT are 5 mm aperture size, 80 mum pitch, 6.7 mum strip width, 0.8 mum thick. In comparison...
We have proposed to utilize a surface acoustic wave (SAW) linear motor for two-dimensional optical positioning system and demonstrated its possibility. The interdigital transducers (IDTs) are used as stator actuator of SAW motors, and fabricated on LiNbO3 substrate material using epitaxial lift-off technology. Four IDTs are arranged to excite x- and y-propagation waves in two axes. The dimensions...
Microelectrode arrays (MEAs) have become key components in retinal implants for recording of neural signals or electrical stimulation of nerves. In this paper, implantable flexible MEAs based on a novel polymer, parylene, were developed by designing MEMS process. And electrical performance of prepared microelectrodes was characterized electrochemically. Results showed that impedance and phase delay...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.