Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Planar capacitors can quickly test material properties of metals and dielectrics for interconnects. A sidewall capacitor device is used to evaluate metal thin-film barriers. Etch stop planar capacitors in turn can test multi-layer etch stops, exposing differences between leaky and good etch stop films. Fillable planar capacitors are also fabricated and results presented for that class of fill materials.
This paper presents a design and fabrication of advanced MEMS in high power applications. The advanced MEMS devices are used as a circuit breaker to detect high current in a distributed power network. We designed and fabricated an M×N array of low-power MEMS switches to handle high power; they are mass actuated by an external magnetic field.
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.