Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In this paper, Si-MOS capacitors with HfTiO/SiON stack gate dielectric were fabricated by using Si-surface thermal passivation in NO and N2O ambients respectively and reactive co-sputtering technology. Results show that the sample pretreated in NO ambient has excellent interface properties, low gate leakage current density and high reliability. This is attributed to the formation of a SiON interlayer...
The paper reports the impact of TiN metal gate composition (Ti-rich vs. N-rich) and preparation methodology (atomic layer deposition-ALD vs. physical vapor deposition -PVD) on its thermal stability with HfO2 high-K dielectric, via both physical characterization (X-ray Photoelectron Spectroscopy-XPS, High Resolution TEM combined with Electron Energy Loss Spectroscopy-EELS), and electrical characterization...
Atomically flat silicon surface constructed with atomic terraces and steps is realized by pure argon ambience annealing at 1200degC on (100) crystal orientation large diameter wafers with precisely controlled tilt angle. Only the radical reaction based insulator formation technology such as oxidation utilizing oxygen radicals carried out at low temperature (400degC) can preserve the atomically flatness...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.