Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Recently, it was found that the reactive magnetron sputtering of TiN films with the addition of small (≤10 at.%) amount of Fe makes it possible to change the preferred crystallographic orientation of grains in the film when the partial pressure of nitrogen pN 2 in the sputtering gas is continuously increased. Between the films with different preferred crystallographic orientations there is...
This article reports on the effect of the energy delivered to a growing film by bombarding ions and fast neutrals on the macrostress σ and the structure of sputtered films. To demonstrate this effect, we selected Mo–Al–N films with a low (⩽20at.%) Al content reactively sputtered using an unbalanced dc magnetron with a target of 100mm diameter at a high total pressure pT=3Pa, low substrate bias Us=-20V...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.