Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper presents an effective method to restrain galvanic corrosion of polycrystalline silicon (polysilicon) that is electrically coupled with noble metals of microelectromechanical systems (MEMS) devices by hydrofluoric-acid (HF)-based solutions. A titanium (Ti) redox sacrificial layer is added on the noble-metal layer and then covered by photoresist. Benefiting from the lower electrochemical...
Poly-silicon crater defect generated in large plate of n+ poly-silicon on p-type substrate that resulted in gate oxide integrity (GOI) failure in 0.15mum silicon process is investigated. Al tiny particle accidentally introduced from PECVD resistance protection oxide (RPO) deposition is found to be able to translate into such poly-silicon crater defect in the test structure during subsequent oxide...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.