Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This work focuses on the designing of inter-digitated capacitive device using COMSOL Multiphysics. The designed capacitive device consists of inter-digitated fingers capacitors (IDT) which increases the capacitance of the device proportionally to the number of fingers. The IDT configuration can be utilized for various types of applications such as accelerometer, gyroscope etc. The designed IDT focuses...
This paper discusses the design and realization of a micromachined micro Coriolis flow sensor with integrated electrodes for both electrostatic actuation and capacitive readout. The sensor was realized using semicircular channels just beneath the surface of the silicon wafer. The channels have thin silicon nitride walls to minimize the channel mass with respect to the mass of the moving fluid. A comb-shaped...
This paper gives insight into the origin of the piezocapacitive effect of a sandwich structure (metal-dielectric-heavily doped silicon) in a microfabricated cantilever. It implies that the mechanical stress changes both the sizes of the capacitor and the dielectric constant of the dielectric. A beam bending method was used to study the effect of the mechanical stress on the dielectric constant of...
The integration of multiple functionality in MEMS devices is explored in this paper. The goal of this approach is to maximize the integration level by simplifying the global system architecture. In this paper, a capacitive pressure sensor is also designed as a RF capacitor for radio telemetry. The experimental results validate this novel approach that opens new alternatives to single-device RF-sensor...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.