Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In this paper we present a novel process based on SU-8 technology for the fabrication of double clamped RF MEMS capacitive shunt switches in coplanar configuration. The key element of the exploited process is the MicroChem SU-8 2002 negative photoresist. The polymeric material is widely used in MEMS device processes because of its excellent thermal and chemical stability. In this paper, SU-8 polymer...
This paper presents analysis on parameters required for the fabrication process of RF MEMS switches. Stress analysis on gold thin film and variation of stress with different deposition conditions has been studied. Adhesion issues which occurred during the fabrication have also been high lighted. While fabricating the RF MEMS switch the suspended cantilever beam or membrane can touch the lower actuation...
The paper presents a novel cantilever beam RF MEMS metal to metal contact series switch. The proposed cantilever design is supported with three supporting bars at the rear end of the beam. These bars not only make the smooth mechanical movement of the beam but also result in a low spring constant. The beam has a spring constant of 3.37 N/m. The switch has actuation voltage as low as 19 V. To control...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.