Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
The authors describe key points of 0.5- mu m technologies for fabricating high-density memory devices such as 16-Mb DRAM (dynamic random access memory). The main features of the technologies are the use of field-shield isolation and a W contact source/drain transistor utilizing silane reduction of WF/sub 6/. The field-shield isolation technology enables the isolation region to be reduced down to half...
A shallow trench isolation (STI) technology, RIE (reactive ion etching), CVD (chemical vapor deposition) oxide fill, and polarization are used to realize lithography-limited, submicron device and isolation dimensions. A novel boron diffusion technique is used for nMOSFET field doping, so that the parasitic sidewall inversion (leakage) problem is eliminated. It is shown that both the channel width...
The authors introduce a diagonal active stacked capacitor cell with a highly packed storage node (DASH) for use in a 16-Mb DRAM (dynamic random access memory). This novel cell features a storage capacitor formed above a bit line and the diagonal active area, which provides a large storage capacitance, 35 fF/bit, in a cell size of 3.4 mu m/sup 2/. The average charge retention time measured using an...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.