Vakuum in Forschung und Praxis > 33 > 1 > 38 - 41
Dünne Schichten
Lasergestützte Deposition dünner Funktionsschichten mit industriell relevanten Abscheideraten
Źródło
Abstrakt
Identyfikatory
ISSN czasopisma : | 0947-076X |
e-ISSN czasopisma : | 1522-2454 |
DOI | 10.1002/vipr.202100751 |