Vakuum in Forschung und Praxis > 31 > 4 > 38 - 39
Anwenderbericht
ALD‐Beschichtung von Sensoren für Hochvakuumbereich profitiert von Standzeiterhöhung
Źródło
Identyfikatory
ISSN czasopisma : | 0947-076X |
e-ISSN czasopisma : | 1522-2454 |
DOI | 10.1002/vipr.201900720 |