Vakuum in Forschung und Praxis > 26 > 5 > 19 - 23
Dünne Schichten
Plasmochemical Synthesis of Nitride Compounds
Source
Abstract
Identifiers
journal ISSN : | 0947-076X |
journal e-ISSN : | 1522-2454 |
DOI | 10.1002/vipr.201400563 |