Kaltkathoden werden seit Jahrzenten in verschiedenen Bereichen der Vakuumtechnik verwendet, wo ihre Vorteile trotz magnetischer Streufelder, schlechter Zündcharakteristik im UHV‐Bereich und Langzeitstabilität nicht kritisch oder im Rahmen häufiger Wartungsintervalle praktikabel sind. Selbst dann ist aber oft das Erlöschen der Kaltkathodenentladung im UHV bzw. XHV‐Bereich ein Thema für die Experten.
In diesem Artikel wird unter Berücksichtigung der zugrunde liegenden Prozesse und deren Korrelation eine optimierte Kaltkathode vorgestellt. Experimentelle Ergebnisse belegen, dass diese, bei gleichzeitiger Reduzierung des magnetischen Streufeldes auf 1 mT in unmittelbarer Nähe des Vakuummeters, die Bestimmung des Druckes im 10−12 mbar Bereich ermöglicht. Weiterhin konnten die Zündzeiten auf < 60 s bei 1×10−9 mbar reduziert und die Langzeitstabilität des Sensors erheblich verbessert werden.