Die Nanoindentation ist ein etabliertes Verfahren zur Härte‐ und E‐Modul‐Bestimmung an dünnen Schichten. Die Bestimmung der Fließkurve von Schichtwerkstoffen mittels analytischer oder numerischer Verfahren auf Basis von Nanoindentationsdaten ist derzeit Gegenstand zahlreicher Forschungsvorhaben. In diesem Beitrag wird eine Methode zur Bestimmung von Fließkurven durch die Kombination von Nanoindentation und FEM‐Simulation vorgestellt. Ausgehend von den Indentationsdaten werden mithilfe analytischer Methoden Randbedingungen für die FEM‐Simulation bestimmt und so die Lösungsmenge an möglichen Fließkurven deutlich reduziert. Im Anschluss wird der exakte Fließkurvenverlauf durch iterative Simulation des Indentationsprozesses, Vergleich von simulierter und experimenteller Kraft‐Eindring‐Kurve und Anpassung des Materialmodells bestimmt. Die Methode wird anhand von Referenzwerkstoffen mit bekannten Fließkurven verifiziert. Die Ergebnisse werden kritisch diskutiert.