Microsystem Technologies > 2009 > 15 > 9 > 1365-1371
Source
Abstract
Identifiers
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-009-0899-x |
Microsystem Technologies > 2009 > 15 > 9 > 1365-1371
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-009-0899-x |