Microsystem Technologies > 2014 > 20 > 10-11 > 2051-2053
Source
Abstract
Identifiers
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-013-2059-6 |
Microsystem Technologies > 2014 > 20 > 10-11 > 2051-2053
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-013-2059-6 |