Microsystem Technologies > 2014 > 20 > 6 > 1153-1158
Source
Abstract
Identifiers
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-013-1834-8 |
Microsystem Technologies > 2014 > 20 > 6 > 1153-1158
journal ISSN : | 0946-7076 |
journal e-ISSN : | 1432-1858 |
DOI | 10.1007/s00542-013-1834-8 |