Springer Series in Advanced Microelectronics > High Dielectric Constant Materials > Transition to Silicon Oxynitrides > 195-220
Źródło
Identyfikatory
ISSN serii : | 1437-0387 |
ISBN książki : | 978-3-540-21081-8 |
e-ISBN książki : | 978-3-540-26462-0 |
DOI | 10.1007/3-540-26462-0_7 |