Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper presents the temperature influence on the adhesion of a copper thin film deposited on an alumina substrate. 5μm and 20 μm thicknesses of copper films were deposited by RF sputtering and characterized. Simulation and mechanical characterizations were realized. Results obtained by Stoney stresses and by Von Mises Stress show stresses relaxation after first annealing and their stabilization...
Sheet resistance of transition metal thin getter films was recorded during activation at 250°C-1h15 by in-situ 4-probes measurement under vacuum. Co-evaporated alloys of Zr-V, Zr-Ti, Zr-Co with different compositions were studied. Results show that resistivity and temperature coefficient of resistance (TCR) are linked and follow the Mooij rule. Several degrees in structure disorder were deduced from...
Al-Ti alloy is widely used in MEMS components such as RF MEMS switches. When the moving part of MEMS components operating in higher temperature, such as switches and mirrors, their reliability is always an issue which needs to be focused. In order to manufacture a better reliable component, it is needed to clarify such mechanical properties of the materials. Here, we deposit four different kind of...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.