Pour evaluer les epaisseurs des couches conductrices constituant un echantillon stratifie, une methode mettant en oeuvre des mesure de resistances de surface a ete mise au point. L'epaisseur de chaque couche conductrice constituant le stratifie est deduite de la comparaison entre des resistances mesurees experimentalement, et celles deduites d'un modele de simulation. Nous presentons par la suite le modele de simulation et des resultats obtenus par cette methode sur le systeme Al/Ti.
To evaluate the thickness of the layers of a Ti/TiAl 3 /Al system, experiments based on surface resistance measurements have been performed. The thickness of each layer is deduced from a comparison among calculated and measured values of resistance. We present here a solution for the simulation of surface resistance and the results obtained with this method on Ti/TiAl 3 /Al systems.