Ion sputtering of Ti target irradiated by nitrogen and argon ions with the energy of 3 keV was analysed by computer simulation with SATVAL code. Results of sputtering yield calculation as a function of dose of irradiation were compared with experimental data published by Kyung-youl Min et al. [1].
W pracy opisane są wyniki symulacji komputerowych efektu rozpylania jonowego tarczy Ti poddanej bombardowaniu jonami N2 i Ar o energii 3 keV. Zaobserwowane zmiany współczynnika rozpylania w zależności od dawki napromieniowania porównano z wynikami eksperymentu przeprowadzonego przez Kyung-youl Min i in. [ 1].