Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Because the increase of piezoelectricity was found in Sc heavily doped AlN films, they have been well studied. Many researchers investigate the properties of the longitudinal mode bulk acoustic wave with c-axis normally oriented ScAlN films. However, there are few reports on the shear mode properties because of difficulties in growth of c-axis parallel oriented ScAlN films which can excite shear mode...
C-axis parallel-oriented ZnO piezoelectric films, (1120) or (1010) textured films, are good candidates for shear mode devices. Ion bombardment to the substrate during film deposition suppresses the usual (0001)-oriented grain growth, resulting in the preferential development of unusual (1120) or (1010) orientation. This is because the most densely packed (0001) plane should incur more damage by ion...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.