Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Thin film bulk acoustic wave resonators (FBAR) using piezoelectric AlN thin films have attracted extensive research activities in the past few years. Highly c-axis oriented AlN thin films are particularly investigated for resonators operating at the fundamental thickness longitudinal mode. Depending on the processing conditions, tilted polarization (c-axis off the normal direction to the substrate...
In this paper, we present our recent study on the fabrication and characterization of ammonia gas sensors based on quartz thickness shear mode (TSM) resonators employing ZnO nanowires as the sensitive coating layer. c-axis vertically aligned ZnO nanowire arrays were synthesized on the quartz resonator through a simple hydrothermal synthesis route. The ZnO nanowires were characterized by X-ray diffraction...
Thin films, especially polymer materials, as sensitive coating materials are wildly used in acoustic wave sensors for chemical and biological applications, and the responses of sensors commonly are regarded to the result of mass change. However, the mechanical properties of coating materials such as shear modulus also affect sensors in a more complicated way. It is therefore necessary to know the...
Piezoelectric AlN thin film has been considered for fabricating the thin film bulk acoustic wave resonator (FBAR) for over years. Characterization of thin film material properties including density, elastic modulus, and piezoelectric coefficient are essential in processing study and for predicting the performance of the acoustic wave devices. In this paper, the authors present our results on the fabrication...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.