Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper proposes a novel structure of microelectromechanical-systems-based 1-D spatial light phase modulator (SLPM) that consists of a micromirror array on a silicon-on-insulator (SOI) wafer and indium tin oxide (ITO) electrodes on a glass plate. Each micromirror can exhibit bidirectional single-axis tilt, as well as up-and-down piston motions by combining the applied voltage on two ITO electrodes...
We have proposed a novel structure of one dimensional spatial light phase modulator (SLPM) that consists of a micromirror array on an SOI wafer and ITO (Indium Tin Oxide) electrodes on a glass plate. Each micromirror can exhibit bidirectional single-axis rotation, as well as up- and down- translation motion. We have fabricated the device, and confirmed its motion experimentally.
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.