Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper reports the design, fabrication and demonstration of MEMS electrostatic digital mirror array (8 channels) integrated with 40 V level-shifter drivers by the CMOS-first MEMS-last processing technique. A CMOS chip of high voltage level-shifter array (2.9 mm times 2.9 mm) was pre-fabricated on an 8-mum-thick SOI wafer, and micromechianical structures were post-processed by deep reactive ion...
This paper presents a monolithic integration technique of MEMS grating light valves with high-voltage (40 V) driver circuits that target for image projection display devices. Driver circuits were prepared on an 8-mum-thick SOI (Silicon-on- Insulator) wafer by the DMO S (Double-diffused Metal Oxide Semiconductor) processes, after which the MEMS grating were integrated in the identical SOI layer by...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.