Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In micro-electro-mechanical system devices, the thermal stress and deformation caused by ambient temperature variation are of great concern since they can directly affect the performance of the devices. This paper presents an optimized temperature robustness design for double-clamped micro-structures. Robust operation over temperature is a critical criterion for most MEMS sensors, however different...
A novel gyroscope structure with a unique slanted suspension cantilever is presented in this paper. Two masses are excited to ??see-saw?? oscillations by the bending of the cantilever. This arrangement makes this gyroscope to suffer from less asymmetry spring and thermal stress. This gyroscope structure is fabricated on 300 ??m thick silicon wafer, and the electrodes are fabricated on Pyrex glass...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.