Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In our previous research we already demonstrated micro acoustic devices, such as membrane based thin film bulk acoustic shear wave resonators and surface acoustic shear wave resonators, based on metal-organic-vapour-phase-epitaxial (MOVPE) grown highly oriented a-plane piezoelectric material. Although MOVPE is a well established process for compound semiconductor layer growth especially of III-V semiconductors...
Metal-Organic-Vapor-Phase-Epitaxy (MOVPE) is a well established process for compound semiconductor layer growth especially of III-V semiconductors as InP, GaAs, and the nitrides GaN or AlN. In the case of the nitrides one can obtain highly oriented a-plane piezoelectric material, well suited for shear-microwave applications, by tilting the c-axis of the piezoelectric unit cell by 90deg to result in...
This paper focuses on metal-organic-vapor-phase-epitaxial (MOVPE) grown on a-plane gallium-nitride (GaN), representing a novel approach for piezoelectric materials with good prospects for quartz-crystal-microbalance (QMB), like sensors with respect to its biocompatibility and frequency filter applications. Material characteristics of gallium-nitride as well as the processing of shear wave resonators...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.