Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
For the first time, we report integration of air spacers with FinFET technology at 10nm node dimensions. The benefit of parasitic capacitance reduction by air spacers has been successfully demonstrated both at transistor level (15–25% reduction in overlap capacitance (COT)) and at ring oscillator level (10–15% reduction in effective capacitance (Cf)). Key process challenges and device implications...
FinFET has become the mainstream logic device architecture in recent technology nodes due to its superior electrostatic and leakage control [1,2,3,4]. However, parasitic capacitance has been a key performance detractor in 3D FinFETs. In this work, a novel low temperature ALD-based SiBCN material has been identified, with an optimized spacer RIE process developed to preserve the low-k value and provide...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.