Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
We present UTBB devices with a gate length (LG) of 25nm and competitive drive currents. The process flow features conventional gate-first high-k/metal and raised source/drains (RSD). Back bias (Vbb) enables Vt modulation of more than 125mV with a Vbb of 0.9V and BOX thickness of 12nm. This demonstrates the importance and viability of the UTBB structure for multi-Vt and power management applications...
We demonstrate the smallest FinFET SRAM cell size of 0.063 μm2 reported to date using optical lithography. The cell is fabricated with contacted gate pitch (CPP) scaled to 80 nm and fin pitch scaled to 40 nm for the first time using a state-of-the-art 300 mm tool set. A unique patterning scheme featuring double-expose, double-etch (DE2) sidewall image transfer (SIT) process is used for fin formation...
This work presents a 32 nm SOI CMOS technology featuring high-k/metal gate and an SRAM cell size of 0.149 mum2. Vmin operation down to 0.6 V in a 16 Mb SRAM array test vehicle has been demonstrated. Aggressive ground rules are achieved with 193 nm immersion lithography. High performance is enabled by high-k/metal gate plus innovation on strained silicon elements including embedded SiGe and dual stress...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.