Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In recent years, novel materials for embedded capacitor applications are in great demand. This paper reported the preparation of a novel high dielectric constant Ag@Al2O3/polyimide composite film for embedded capacitor applications. Firstly, nano-sized Ag particle was synthesized through a redox reaction between silver nitrate and N, N-dimethylformamide and the obtained Ag nanoparticles were treated...
This paper investigated the plasma ashing damage to patterned porous low k structures with the objective to minimize the plasma damage by optimizing the low-k structural geometry and plasma chemistry. We first extended the plasma altered layer model to formulate the transport kinetics of the plasma process in patterned low-k structures. This enabled us to analyze the effects of the hardmask thickness,...
A plasma altered layer model was developed to characterize plasma damage in porous OSG (organosilicate glass) low-k dielectrics by taking into account the kinetics of radical diffusion, reaction, and recombination. A gap structure was designed to study plasma damage and validate the model. It consisted of two parallel rectangular Si spacers and a top optical mask to control the energy and intensity...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.