Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
This paper describes evaluation of stiffnesses of SiO2 thin films when the anisotropy in elasticity is taken into account. The authors measured the propagation direction θ dependence of the water-loaded surface acoustic waves (SAW) velocity, and tried to estimate stiffnesses of SiO2 films from the measured θ dependence. The result indicates that SiO2 films possess the strong 6mm anisotropy. Namely,...
This paper describes characterization of elastic properties of SiO2 films by the Line-Focus-Beam (LFB) ultrasonic microscopy. SiO2 films with 1 µm thickness were deposited on Si (001) substrates by sputtering or CVD with two different deposition conditions each, and the water-loaded SAW velocity on these samples was measured. Large variation of elastic properties was clearly observed among four specimens...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.