Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Many micro-electro-mechanical-systems (MEMS) are based on the use of resonant mechanical structures. In this paper, we propose scanning electron microscopy techniques that allow a direct characterization of in-plane vibrations of small-size resonators. Implementation and performance of these techniques are illustrated by vacuum quality factor measurements of an electrostatically driven polysilicon...
Many micro-electro-mechanical-system (MEMS) are based on the use of resonant mechanical structures. In this paper, we propose scanning electron microscopy techniques that allow a direct characterization of in-plane vibrations of small-size resonators. Implementation and performance of these techniques are illustrated by vacuum quality factor measurements of an electrostatically-driven polysilicon...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.