Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
In this work, we propose a novel temperature compensation method that utilizes a tri-mode operation scheme to generate a temperature-stable frequency reference over a large temperature range. Three resonant modes are excited simultaneously on a highly doped silicon MEMS resonator, and the unique TCf characteristic of each mode is fitted to a parabolic curve. A linear combination of the three frequencies...
We present an epitaxially-encapsulated 2×2mm2 quad-mass resonator (QMR) with shaped comb fingers for frequency tuning. While shaped electrodes have been used for frequency tuning of linear resonators, the device studied here has very high quality factor (g=100,000) resulting in a very narrowband resonance which, without the shaped electrodes, results in undesirable nonlinear behavior such as amplitude-frequency...
This work demonstrates, for the first time, a post-fabrication technique for creating highly compliant structures inside a hermetic, wafer-scale encapsulation process. By tethering large, free-moving structures during fabrication this method mitigates in-process stiction by selectively detaching devices post-fabrication. The tethers in this work were attached to differential resonant beam accelerometers...
We demonstrate how to identify regions of major thermo-elastic dissipation (TED) in MEMS resonators and reduce this energy loss by modifying the device geometry. To demonstrate this, various geometries of a disk resonating gyroscope (DRG) are used. Devices are fabricated and tested to show that the TED-limited quality factor (Q) can indeed be increased using geometric manipulation, as predicted by...
This work demonstrates a unique temperature-compensated differential resonant accelerometer fabricated in a wafer-scale encapsulation process. By utilizing a pair of ultra-stable, high quality factor (>50,000) resonant beams as a strain gauge, we show differential operation with a scale factor of 427Hz/g and a bias instability of 0.16μg at 21s integration time. Furthermore, matched temperature...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.