Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
Influence of the carrier gas on HfCl 4 –H 2 O and ZrCl 4 –H 2 O atomic layer processes was investigated. The growth rates of HfO 2 and ZrO 2 decreased with increasing flow rate and pressure of the N 2 carrier gas. Data of real-time quartz crystal microbalance measurements demonstrated that the effect observed was mainly due to influence of carrier...
Optical absorption and photoluminescence of amorphous and crystalline HfO 2 thin films grown by atomic layer deposition from HfCl 4 and H 2 O were studied. Band-gap energy of (5.55+/-0.03) eV was determined for monoclinic HfO 2 with mean crystallite sizes of 30-40 nm as well as for amorphous HfO 2 . Excitation in the range of intrinsic absorption resulted in...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.