Serwis Infona wykorzystuje pliki cookies (ciasteczka). Są to wartości tekstowe, zapamiętywane przez przeglądarkę na urządzeniu użytkownika. Nasz serwis ma dostęp do tych wartości oraz wykorzystuje je do zapamiętania danych dotyczących użytkownika, takich jak np. ustawienia (typu widok ekranu, wybór języka interfejsu), zapamiętanie zalogowania. Korzystanie z serwisu Infona oznacza zgodę na zapis informacji i ich wykorzystanie dla celów korzytania z serwisu. Więcej informacji można znaleźć w Polityce prywatności oraz Regulaminie serwisu. Zamknięcie tego okienka potwierdza zapoznanie się z informacją o plikach cookies, akceptację polityki prywatności i regulaminu oraz sposobu wykorzystywania plików cookies w serwisie. Możesz zmienić ustawienia obsługi cookies w swojej przeglądarce.
An Er plasma was produced by a vacuum arc source with a truncated cone-shaped Er cathode and an annular copper anode. The plasma beam was injected into a cylindrical magnetic duct through the annular anode aperture and flowed towards the substrate or an electrostatic ion current probe positioned on the duct axis, in vacuum or in a low-pressure oxygen background. The cathode spot operation, transport...
A radially expanding metallic plasma plume was generated by a hot refractory anode vacuum arc (HRAVA) sustained between a 30 mm diam consumed water-cooled cylindrical Cu cathode and a non-consumed cylindrical W anode (32 mm diam, 30 mm height). The anode was heated by a I=200 A arc 180 s. Films were deposited on Si substrates with a top SiO2 layer having trenches with an aspect ratio (depth/width)...
The fraction of the ion flux in the radially expanding plasma flux was obtained in hot refractory anode vacuum arc by measuring the ion current and the film deposition characteristics. Experiments were conducted with an arc current of 200 A, a molybdenum anode and an electrode separation of about 10 mm. It was found that the collected ion current in vacuum increased about twice from the beginning...
Podaj zakres dat dla filtrowania wyświetlonych wyników. Możesz podać datę początkową, końcową lub obie daty. Daty możesz wpisać ręcznie lub wybrać za pomocą kalendarza.